华进半导体联合有研亿金共同制定了高纯钛/铜靶材的ASTM标准
2016年11月17日 9:17 3406次浏览 来源： 亿览网 分类： 钛资讯
华进半导体封装技术研发中心有限公司联合有研亿金新材料有限公司共同制定出高纯度钛靶和铜靶材的ASTM(美国材料实验协会American Society of Testing Materials简称)标准，标准号分别为ASTM F3166和ASTM F3192。该高纯钛/铜靶材主要应用于穿硅通孔(TSV)晶圆的金属化工艺中。标准对靶材金属的纯度、晶粒尺寸、内部质量、粘合、表面纯净度，以及靶材的尺寸、表面粗糙度、外观、可靠性等均作了详细规定。
ASTM是目前国际上最有影响的标准发展机构之一，主要制定材料、产品、系统和服务等领域的特性和性能标准，并在工业和社会中得到了广泛的实施应用。此次华进半导体封装技术研发中心有限公司和有研亿金新材料有限公司共同制定的靶材标准得到ASTM授权，标志着国产半导体材料已取得国际权威机构认可。
责任编辑：于璐
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